상압 플라즈마를 이용한 반도체 포토레지스트 에싱 연구

김이정 ,  이정훈 ,  윤창로 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2007 .01

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조 해석 Ⅱ

박상현 ,  이원석 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조해석

이원석 ,  박상현 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2014 .11

CO₂-H₂ 혼합가스의 상압 무전극 마이크로웨이브 플라즈마 발광 분광분석을 통한 전자밀도 측정에 관한 연구

선호중 ,  이준권 ,  박문수

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

다양한 종류의 상압 플라즈마 처리에 의한 알루미늄과 고무의 접착특성 연구

류상렬 ,  이동주

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .11

반도체 제조공정 배가스 처리기술

김용진 ,  황정호

공기청정기술

2001 .01

평판 디스플레이 세정을 위한 상압 플라즈마 에싱효과에 관한 연구

이건영 ,  허용정

한국산학기술학회 학술대회논문집

2008 .05

고온 플라즈마를 이용한 반도체 공정 발생 폐가스 처리시스템 개발

황상연 ,  엄성현 ,  차우병

한국에너지기후변화학회 학술대회

2018 .11

상압 플라즈마 표면처리에 의한 고분자 재질의 접착특성 변화

서승호 ,  김윤범 ,  박주남 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .05

반도체 브릿지의 플라즈마 특성 연구

이응조 ,  장석태 ,  장승교

한국추진공학회지

1998 .08

상압 플라즈마 용사의 공정조건에 따른 세라믹 피막의 특성

주원태 ,  최병룡 ,  홍상희

한국표면공학회지

1993 .08

Plasma식 배가스 처리기술

윤종필

공기청정기술

2001 .01

상압 플라즈마 표면처리에 의한 고분자 재질의 표면특성변화

서승호 ,  장성환 ,  유영은 외 1명

설비공학논문집

2010 .05

상압 플라즈마 표면처리에 의한 고분자 재질의 표면특성변화

서승호 ,  장성환 ,  유영은 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2009 .11

반도체공정에서 사용되는 재료가스의 역할과 가스공급시스템

한주탁 ,  이택홍 ,  박두선 외 1명

한국가스학회 학술대회논문집

1997 .09

반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델

한주윤 ,  정봉주

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2001 .11

유연기판의 표면에너지 조절을 위한 상압 플라즈마 처리에 관한 실험적 연구

이재원 ,  박기표 ,  최동권

대한기계학회 춘추학술대회

2010 .04

반도체 공정 최적화를 위한 일반화된 회귀 신경망 플라즈마 모델

박성진 ,  김병환

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

Atmospheric Pressure Plasma Research Activity in Korea

Han S. Uhm

한국표면공학회지

2001 .10

반도체 제조공정을 위한 새로운 생산일정 알고리즘

복진광 ,  이승권 ,  문성득 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .12