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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.11
수록면
16 - 19 (4page)

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Single-walled carbon nanotube (SWNT) sensors, fabricated using alternative current dielectrophoresis, were used to detect decomposed ions and radicals in plasma. In this work, we monitored the electrical conductance of the SWNT sensors in sulfur hexafluoride (SF?) plasma. The electrical conductance of the SWNT arrays exposed to SF? plasma gradually decreased. This result demonstrates that the electronic detection of the decomposed ions and radicals is possible with SWNT sensors.
#Single-Walled Carbon Nanotube(단일벽 탄소나노튜브) #Dielectrophoresis(유전영동) #Sulfur Hexafluoride(SF6) #Plasma(플라즈마)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 및 고찰
3. 결론
후기
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