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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
2,617 - 2,622 (6page)

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We present a simple solvent-assisted capillary molding method to fabricate zinc oxide (ZnO) nanostructures using an ultraviolet (UV) curable polyurethane acrylate (PUA) mold. A thin film of the ZnO sol-gel precursor solution in methyl alcohol was prepared by spin coating on a solid substrate and subsequently a nanopatterned PUA mold was brought in conformal contact with the substrate under a slight physical pressure (~ 3.5 bar). After annealing at 230 ℃ for 4 hrs, well-defined ZnO nanostructures formed with feature size down to ~ 50 ㎚ aided by capillary rise and solvent evaporation. It was found that the height of capillary rise highly depended on the applied pressure. A simple experimental setup was devised to examine the effects of pressure, revealing that the optimum pressure ranged from 3.5 to 5 bars. Also, ZnO nanorods could be selectively grown on the patterned regions using the seed layer as a pseudocatalyst when the width of seed layer was larger than ~ 200 ㎚.
#ZnO(산화아연) #Capillarity(모세관현상) #Molding(몰딩) #Nanolithography(나노공정)

목차

Abstract
1. Introduction
2. Experimental Section
3. Results and Discussions
4. Conclusion
Acknowledgments
References

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016800493