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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.6
- 수록면
- 1,615 - 1,620 (6page)
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This paper reports fabrication and characterization of a pressure sensor using pitch-based Carbon fiber. Pitch-based Carbon fibers have been shown to exhibit the piezoresistive effect, in which the electric resistance of the material changes under mechanical deformation. Pressure sensors were designed and built by performing backside etching on SOI wafers and creating suspended square membrane on the front side. An AC electric field which causes dielectrophoresis was used for alignment and deposition of a Carbon fiber between two electrodes on the membrane. Finally, pressure was applied uniformly on the membrane and the resistance change in the Carbon fiber was measured.
목차
Abstract
1. 서론
2. 압력센서 설계 및 제작
3. 실험 장치 및 계측 방법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
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