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이용수
2002
2000
1998
ABSTRACT
1. 서론
2. 정적 평형상태의 모델링
3. 운동정밀도 해석
4. 실험적 검증
5. 결론
참고문헌
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2000 .12
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2001 .10
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㎓ 대역에서 셋업용 테이블 영향 연구
전자파기술
2009 .01
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1997 .05
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자기 베어링으로 지지되는 초정밀 직선운동 테이블에 관한 연구 ( A Study on a High-Precision Linear Motion Table with Magnetic Bearing Suspension )
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