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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering International Journal of Precision Engineering and Manufacturing International Journal of Precision Engineering and Manufacturing Vol.7 No.4
- 발행연도
- 2006.10
- 수록면
- 3 - 7 (5page)
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Confocal scanning microscopy is a measurement technique used to observe micrometer and sub-micrometer features due to its high resolution, nondestructive properties, and 3D surface profiling capabilities. The design, implementation, and performance test of a confocal scanning microscopy system are presented in this paper. A short-wavelength laser (405 ㎚) and an objective lens with a high numerical aperture (0.95) were used to achieve the desired high resolution, while the x-and y-axis scans were implemented using an acousto-optic deflector and galvanomirror, respectively. An objective lens with a piezo-actuator was used to scan the z-axis. A spatial resolution of less than 138 ㎚ was achieved, along with successful 3D surface reconstructions.
목차
1. Introduction
2. Design Specifications
3. Design and Implementation of the Confocal Scanning Microscopy System
4. Performance Test of the Confocal Scanning Microscopy System
5. Conclusions
ACKNOWLEDGEMENT
REFERENCES
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