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한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제31권 제4호
발행연도
2007.5
수록면
377 - 384 (8page)

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A backscatter Kikuchi diffraction attachment to an SEM enables the convenient investigation of grain orientations on bulk or micro surface. Their relation to micro?structural features gives insight into many aspects of anisotropic materials properties. In micro area such as Micro Electro Mechanical Systems(MEMS) devices is required in order to improve understanding of how they may be expected to perform upon the micro?scale. Electro Back Scatter Diffraction (EBSD) helps us to find uniform area as MEMS material. The γ-TiAl has two different lamellar structures γ/α₂?Ti3Al phase which have shows {111} γ//{0001}α₂ plane indexing. The micro?size testing specimen was successfully made by this structural relation. Interlamellar structure specimen averagely show 20~25% lower fracture toughness value compare with translamellar specimens. Moreover micro fracture surface and micro crack progress were observed.
#EBSD(Electro Back Scatter Diffraction) #MEMS(Micro Electro Mechanical System) #Interlamellar(인터라멜라) #Translamellar(트랜스라멜라) #FIB(집적 이온빔)

목차

Abstract
1. 서론
2. 시험방법
3. 실험
4. 실험 및 고찰
5. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (12)

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, 2004 , 알기 쉽고 재미있는 MEMS 이야기 google schola , 1999 , proc. Part of the Conference on Device and Process Technology for MEMS and Microelectronics : 97 ~ 108 google schola , 2001 , Cast Gamma TiAl Alloys: Are We There Yet? in Proceedings of Third International Symposium on Structural Intermetallics (ISSI 3) google schola , 2001.9 , Quo Vadis Titanium Aluminide : 997 ~ 1001 google schola , 1998 , Micro and Nanotechnologies: a Challenge on the Way Forward to New Markets Materials Science & Engineering : 254 ~ 257 google schola

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