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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.10
수록면
126 - 129 (4page)

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A workpiece with a large surface area is likely to be uneven due to form error and waviness. These geometric disturbances can cause inaccurate micro shapes to be formed when micro features are micro-grooved into the surface and cause the resulting workpiece to fail to function as desired. Thus, real-time measurement and compensation is required to guarantee the form accuracy of micro features while machining a workpiece with a large surface area.
In this study, a method is suggested for real-time measurement of geometric error for the micro grooving of a large flat surface using a laser displacement sensor. The measurements are demonstrated for the workpieces with large surface areas and the experimental results show that the waviness and form error are well detected.
#Micro pattern(미세 패턴) #Waviness #Form error #Large surface area(대면적) #laser displacement sensor(레이저 변위 센서)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 곡면 프로파일
3. 실험 결과
4. 결론
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