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한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) Journal of the Korean Society of Marine Engineering Vol.31 No.3
발행연도
2007.5
수록면
272 - 281 (10page)

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A numerical simulation on nitrogen gas flow in a long parallel plate microchannel was performed to obtain the effect of compressibility and rarefaction on gaseous flow in microchannels. The simulation was based on steady, two dimensional compressible Navier-Stokes and energy equations with noslip and first order slip boundary conditions. The channel was 1.2 ㎛ deep and 3000 ㎛ long. The Reynolds numbers were in the range of order from 10?² to 10?¹. So the flow was assumed to be laminar. The computations were performed on various pressure ratios. The outlet pressure was fixed to atmospheric pressure. The outlet Knudsen number was 0.0585, consequently the flow was in the slip flow regime. The computations were performed with the assumption of isothermal channel walls. The results were compared with the experimental data. The agreement was good.
#Knudsen number #Mean free path #Rarefaction effect #Compressibility

목차

Abstract
1. Introduction
2. Model development
3. Boundary conditions
4. Results and discussion
5. Conclusion
Acknowledgement
Reference
Author Profile

참고문헌 (18)

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1. [학술지(정기간행물)] - / 1997 / Gaseous slip flow in long microchannels 6 (2) : 167 ~ 178 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1995 / Gas flow in micro-channels 284 : 257 ~ 274 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 1994 / Non-Linear Pressure distribution in Uniform Microchannels : 51 ~ 56 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 2005 / Viscous heating in liquid flows in micro-channels 47 : 3637 ~ 3747 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2003 / Effect of compressibility on gaseous flows in micro-channels 46 : 30041 ~ 3050 google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-559-016692163