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LCD(liquid crystal display) 기판의 표면검사용 광학장치의 성능평가를 위한 변조전달함수 측정장치를 설계하고 제작하였다. 이 장치에는 3개의 막대물체 모양의 USAF(United States Air Force) 해상도 물체와 적분구로 구성한 물체발생장치와 2차원 CCD(charge coupled device)의 상분석 장치를 사용하였다. 시험렌즈의 변조전달함수는 물체와 상의 명암비를 나눈 명암전달함수를 구한 후 변조전달함수로 보정하여 변환시켰다. 제작된 평가장치를 이용하여 배율 2.6배, F/13.65의 시험 광학계를 평가하였으며, 공간주파수 62.5 1p/㎜에서 자오면에 대해서 30.6%, 구결면에 대해서 26.1%의 값을 얻었다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 명암전달함수 이론
Ⅲ. MTF 성능평가장치 제작
Ⅳ. 측정결과
Ⅴ. 결론
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