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김효윤; 홍만수; 권혁채; 김창균; 김영찬

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저자정보: 김효윤 홍만수 권혁채 김창균 김영찬

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제30회 학술논문발표회 초록집

발행연도: 2006.2

수록면: 239 - 239 (1page)

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-017337060

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