UV Photon-Assist Ionization for Low-Temperature Plasma

S. H. Chae; S. H. Seo; H. Y. Chang

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: S. H. Chae S. H. Seo H. Y. Chang

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제29회 학술발표회 초록집

발행연도: 2005.8

수록면: 155 - 155 (1page)

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S. H. Chae

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S. H. Seo

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H. Y. Chang

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