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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 Journal of Magnetics Journal of Magnetics Vol.11 No.3
발행연도
2006.9
수록면
135 - 138 (4page)

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We studied local anodization on permalloy (Ni??Fe₂?) thin film with an atomic force microscope (AFM), which was performed by applying a voltage between the permalloy sample and conductive AFM tip. Comparing with anodization on Si (100) substrate, nano-structures on the permalloy thin film was fabricated with low processability. In order to improve the processability on the permalloy thin film, we used dot-fabrication method, that is, a conductive AFM probe was kept at a position on the film during the anodization process.

목차

영어 초록
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusions
Acknowledgements
References

참고문헌 (7)

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