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Fine microgroove is the key component to fabricate micro-grating, micro-grating lens and so on. Conventional groove fabrication methods such as etching and lithography have some problems in efficiency and surface integrity. This study deals with the creation of ultra-precision micro grooves using non-rotational single crystal diamond tools implemented on a 3-axis micro stage. In the case of machining with micro pattern on large surface, occur the inhomogeneous surface in the machined surface. Therefore, in this research, achieved research that presume inhomogeneous surface occurrence position through inhomogeneous surface detection algorithm. For the analysis of machining characteristics in micro V-grooving, three components of cutting forces are measured, and those are used for the calculation of tool deflection and stresses of the tool by FEM. From the results of this study, the proposed micro V-grooving technique could be successfully applied to forming the precise optical parts like prism patterns on light guide panel of TFT-LCD.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험장치 구성 및 가공 방법
3. 가공시 비균질면에 대한 고찰
4. 공구변형 해석
5. 결론
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