박막펌핑을 이용한 Nano Fountain-Pen의 유동 특성에 관한 수치적 연구

이진형; 이영관; 이석한; 김훈모; 김윤제

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이진형 이영관 이석한 김훈모 김윤제

저널정보: 한국유체기계학회 한국유체기계학회 논문집 유체기계저널 제9권 제2호

발행연도: 2006.4

수록면: 19 - 24 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

박막펌핑을 이용한 Nano Fountain-Pen의 유동 특성에 관한 수치적 연구

이진형 , 이영관 , 이석한 외 2명 한국유체기계학회 논문집 2006.04 학술저널

2005

Membrane Pumping을 이용한 Nano Fountain-Pen의 수치적 연구

이진형 , 이명관 , 이석한 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2005.11 학술대회자료

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Nano fountain-pen is a novel device to make the constant patterning in micro process using new designed probe. Fountain-pen nanolithography (FPN) is applied for constant supply of liquid in conjunction of patterns and surface variation in the micro process. In this study, nano fountain-pen is composed with reservoir, micro channels, tip and scondary chamber. Instead of traditional method only using capillary force, liquid can be definitely and exactly injected with membrane pumping by the repulse force of tip. It is dfficult to perform experiments in the micro range so that we carried out a numerical analysis for internal flow, using a commercial code, FLUENT. The velocity, pressure and flow rate are obtained under laminar, unsteady, three-dimensional incompressible flow with no-slip condition, and results are graphically described.

#Nanolithography(나노 전사법) #Nano fountain-pen(나노 만년필) #Membrane pumping(박막 펌핑)

참고문헌 (7)

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[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Massively Parallel Multitip Nanoscale Writer with Fluidic Capabilities- Fountain Pen Nanolithography (FPN) : 235 ~ 238

[학술지(정기간행물)] - / 2005 / Fabrication of Micromachined Fountainpen with in Situ. Characterization Possibility of Nanoscale Surface Modification 15 : 528 ~ 534

[학술지(정기간행물)] - / 2004 / Design, Fabrication, and Characterization of Thermally Actuated Probe Arrays for Dip Pen Nanolithography 13 : 594 ~ 602

[학술지(정기간행물)] - / 2003 / Fluid Mechanics : 138 ~ 147

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / A Numerical Design Study of the Valveless Diffuser Pump Using a Lumped- mass Model 9 : 34 ~ 44

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편집부 중국조선어문 1989 .05

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