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대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제30권 제6호
발행연도
2006.6
수록면
622 - 630 (9page)

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This paper is about the magnetic suspension stage based on the Switched Reluctance propulsion principle. Because the previous studies on contact-free stage adopted the Lorentz force for main force generation mechanism, they have suffered from thermal problem deteriorating the precision. Thus, the magnetic suspension stage adopting SR principle which can achieve high force density is proposed. The main operating principle and structure for achieving high resolution and long travel range are represented. The magnetic force analysis of each actuator, providing back data for dynamic modeling and controller design are carried out. By conducting basic experiments, the feasibility of the proposed system is shown. In addition the problems which should be improved and their solutions are represented.
#Magnetic Suspension(흡인식 자기부상) #Switched Reluctance Motor(스위치드 릴럭턴스 모터) #Surface Actuator(평면구동기) #Positioning Device(위치결정기구)

목차

Abstract
1. 서론
2. 구동원리 및 구조
3. 자기력 해석
4. 동적 모델 및 제어기
5. 하드웨어 구성
6. 실험 결과
7. 결론 및 향후 연구
후기
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
Toriumi, M., 1991, “Positioning Techniques in Semiconductor Manufacturing Equipment,” JSPE, Vol. 57, pp.24~28. google schola Jin, J. and Higuchi, T., 1997, “Direct Electrostatic Levitation and Propulsion,” IEEE Trans. Industrial Electronics, Vol. 44, No. 2, pp. 234~239. google schola Jin, J., Yih, C., Higuchi, T. and Jeon, J. U., 1998, “Direct Electrostatic Levitation and Propulsion of Silicon Wafer,” IEEE Trans Indust. Applications, Vol. 34, No. 5, pp. 975~984. google schola Kim, W. J. and Trumper, D. L., 1998, “High-Precision Magnetic Levitation Stage for Photolithography,” Precision Eng., Vol. 22, No. 2 , pp. 66~77. google schola Sawyer, B. A., Dec. 24. 1974, “Actuating System,” U.S. Patent 3 857 078. google schola

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