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한국조명·전기설비학회 조명·전기설비학회논문지 조명·전기설비학회논문지 제14권 제3호
발행연도
2000.5
수록면
38 - 42 (5page)

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플라즈마 중합박막은 내정전 플라즈마 중합장치에 의해서 제조되었다. 증착률은 40[W]에서 100[W] 사이에서 최대값을 나타내었다. ESCA 분석에서는 285.4와 285.5[eV]에서 -CH₂, -C-를 나타내는 피크들을 보였다. 무시할 수 없는 양으로 산소와 그룹화 되어 있는 532.8[eV]에서의 C-O와 533.8[eV]에서의 C-O[C/O=8]를 확인하였다. ESR 분석에서 강한 진폭이 나타나는 곡선은 매우 약한 방전전력에 영향을 받은 포화상태를 나타낸다. 알릴기를 함유한 -CH-CH=CH- 구조로 사료된다. 제조된 플라즈마 중합박막은 100[Hz]～200[kHz]의 주파수에서 비유전율이 3.5정도를 보이고 유전정접은 0.008의 낮은 값을 나타내었다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
◇저자소개◇

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