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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1986年度 Clean Room강좌에대한 강습회 -제1회-
발행연도
1986.5
수록면
8 - 46 (39page)

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목차

1. 서론

2. 반도체 제조공정과 청정도

3. “크린ㆍ룸“에 관한 사용자 요구사항

4. LSI 공장설계상의 제안예

5. “크린ㆍ룸“ 공조 시스템 비교

6. “크린ㆍ룸“의 형태별 비교 분석

7. “그린ㆍ룸“의 설계순서의 유의사항

8. V. L. S. I (VERY LARGE SCALE INTERATED CIRCUIT) 공장 CLEAN ROOM의 특성

9. V. L. S. I 공장 CLEAN ROOM SYSTEM 설계시 고려해야될 사항

10. V. L. S. I 공정별 CLEAN ROOM SYSTEM 형태

11. CLEAN ROOM SYSTEM에서의 에너지 절약

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