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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 Journal of Magnetics Journal of Magnetics Vol.10 No.4
발행연도
2005.12
수록면
163 - 170 (8page)

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The RF integrated noise filters are fabricated by photolithography. The stack for the electromagnetic noise filters consists of the nano-granular (Co₄₁Fe_(38)Al₁₃O_8) soft magnetic film / SiO₂ / Cu transmission line / seed layer (Cu/Ti) / SiO₂-substrate. A good signal-attenuation feature along with a low signal-reflection feature is observed in the present filters. Especially in the noise filter incorporated with a Co₄₁Fe_(38)Al₁₃O_8 magnetic film with lateral dimensions of 2000 ㎛ wide, 15 ㎜ long and 1 ㎛ thick, the maximum magnitude of signal attenuation reaches -55 ㏈, and the magnitude of signal reflection is below -10 ㏈ in the overall frequency range. And this level of signal attenuation is much larger than that of a noise filter incorporated with a Fe magnetic film.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Experimental

3. Results and Discussion

4. Conclusion

References

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