Controlled oxidization process for ultra - thin aluminium films in high - performance magnetic tunnel junctions by using the microwave - excited plasma with radial line slot antenna

Masakiyo Tsunoda; Satoru Yoshimura; Migaku Takahashi

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저자정보: Masakiyo Tsunoda Satoru Yoshimura Migaku Takahashi

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 한국자기학회 2003 SOMMA/KMS meeting International Symposium on Magnetic Materials and Applications and Winter Conference of the Korean Magnetics Society (제13권 2호)

발행연도: 2003.12

수록면: 50 - 50 (1page)

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