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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제13권 제3호
발행연도
2003.6
수록면
97 - 102 (6page)

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고집적 TMR소자의 프리층에 적용될 수 있는 인위적페리층(synthetic ferrimagnetic layer : SyFL)인 NiFe/Ru/NiFe 박막을 만들고, 결정에너지, 지만에너지, 교환에너지를 고려한 총에너지로부터 평형상태에서의 관계식에서 Ru두께에 따른 보자력(Hc) 변화와, 스핀플로핑자계(Hsf), 포화자계(Hs)에 대해 알아보았다. Ta(50Å)/NiFe(50Å)/Ru(4~20Å)/NiFe(30Å)/Ta(50Å) 구조를 ICP (inductively coupled plasma)형 헬리콘스퍼터로 제작하고, 주어진 Ru두께에서의 시편을 SQUID로 ±15 kOe까지 분석하여 M-H 루프를 측정하였다. 에너지를 고려한 평형상태 예측은 실험과 잘 일치하였으며, 이방성에너지 Ku=1000 erg/㎤, 교환에너지 Jex=0.7 erg/㎠까지 조절이 가능하였다. 상온에서 Hc를 10 Oe이하로 만드는 것이 가능하였고, 공업적으로 의미있는 Hs, Hsf의 범위를 Ru두께 4~10 Å에서 선택이 가능하였다. 또한 50 Å이하의 얇은 NiFe박막에서 자기탄성계수는 0이 아닌 (+)로 작용할 수 있다는 점과 NiFe/Ru 계면 조도를 간접적으로 예상하는 것이 가능하였다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험 방법

Ⅲ. 실험 결과 및 토의

Ⅳ. 결론

감사의 글

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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