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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제11권 제4호
발행연도
2001.8
수록면
163 - 167 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2001

자기장 내 열처리에 의한 퍼멀로이 박막의 일축 이방성 자기장의 회전에 관한 연구
김기출 ,  이충선 ,  송용진 한국자기학회지 2001.08 학술저널
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김기출 ,  이충선 ,  송용진 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 2001.04 학술대회자료

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DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 700 Å의 NiFe 박막을 박막 증착시 형성시킨 자화용이축에 수직한 자기장을 인가하여 열처리한 후 일축 이방성 자기장의 회전을 조사하였다. NiFe 박막은 열처리온도 160 ℃에서 자화용이축과 자화곤란축을 구분할 수 없는 등방적인 상태가 되었고, 열처리온도가 증가함에 따라 다시 일축 이방성을 갖는 상태가 되었다. 열처리 온도가 400 ℃ 이상인 경우에 급격한 보자력의 증가를 보였다. 열처리 온도가 400 ℃인 경우에 XRD 분석과 AES depth profile은 NiFe 박막 내에서 [111] 방향으로 결정성장이 활발히 일어나며 인접한 전극 Au와 상호확산 현상도 광범위하게 일어남을 보여주었다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 실험결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

참고문헌

Abstract

참고문헌 (0)

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