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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제11권 제3호
발행연도
2001.6
수록면
109 - 113 (5page)

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휴대전화와 PHS등의 Si-MMIC에 이용되고 있는 spiral 인덕터는 약 800 ㎒대 이상의 준마이크로파 대역을 이용하고 있다. 그러나 W-CDMA는 약 2 ㎓까지의 주파수 대역을 적용하고 있어, 그에 따라 자성박막의 자기특성도 2 ㎓ 대역까지 안정한 재료 개발이 요구되고 있다. 따라서 2 ㎓ 대역에서 연자기 특성이 기대되는 CoPdAlO계 박막을 rf스퍼터링 법으로 제조하여, Pd 첨가량 및 자장중열처리 온도에 따른 자기적 성질을 조사하였다. Pd 조성이 19 %일때, H_k는 118 Oe, μ'는 1.5㎓까지 평행한 주파수특성을 보였다. 그러므로, CoPdAlO 박막은 ㎓ 대역에서 안정한 자기특성변화를 나타내었고, W-CDMA의 인덕터 재료로써 기대 할 수 있다고 판단된다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험

Ⅲ. 결과 및 고찰

Ⅳ. 결론

감사의 글

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Abstract

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