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Co_(90)Fe_(10) 단일박막층은 고진공 RF magnetron sputtering 장비를 이용하여 여러 가지 기판(glass, Si, polyimide) 위에 적층되었고 ~1000Å 두께를 가진 Co_(90)Fe_(10)박막은 우수한 고주파 자기특성을 나타내었다. 10×[100 ㎚ Co_(90)Fe_(10)/100 ㎚ SiO₂] 다층 박막의 자화값은 예측된 값과 거의 일치하였으며 Han값(=124 Oe)도 예측된 30≤Han≤125 Oe 범위 내에 있음을 알 수 있었다. 자성 다층 박막의 자화율(=μ_r=μ_(r')-jμ_r")의 주파수 특성은 자성 다층 박막과 도체로 이루어진 층상구조를 갖는 microstrip line을 network analyzer에 연결하여 전송 특성(S₁₁, S₂₁ 파라미터)을 측정함으로써 얻어졌다. μ_r"의 주파수 특성은 S-파라미터로 분석되는 magnetic absorption으로부터 얻어졌다. 또한 μ_r'의 주파수 특성은 Kramers-Kronig 관계식을 사용하여 μ_r"의 주파수 특성으로부터 계산되었다. 이와 같이 하여 얻어진 μ_r의 주파수 특성(static 자화율, 공진 주파수)은 계산에 의해서 얻어진 값들과 잘 일치된다는 것을 확인하였다.
목차
국문초록
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 요약 및 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
참고문헌 (0)
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