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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제6권 제6호
발행연도
1996.12
수록면
367 - 374 (8page)

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자기소자중 가장 기본이 되는 박막인덕터의 제작에 관한 연구를 수행하기 위하여, photolitho-graphy와 에칭공정을 도입하고, 도체간격 및 도체폭이 수십 ㎛, 도체코일 턴수가 각각 13회와 20회, 크기가 4 ㎜×4 ㎜인 공심형 박막인덕터를 제작하였다. 이것을 마이크로스트립선로에 장착하고, network analyzer로 주파수 1 ㎒~1 ㎓에서 신호의 반사계수법을 이용하여 간편하고 비교적 정확한 측정을 하였다. 특히, 공정이 간단한 습식 에칭공정을 도입하여, 안정된 에칭기술을 통해 양호한 미세패턴구조를 얻었다. 박막인덕터의 특성은, 크기가 같을때, L 및 Q값은 spiral형이 meander형 보다 큰 값을 갖는 반면, 공진주파수는 인덕턴스의 증가에 의한 영향으로 spiral형이 meander형보다 감소하였다.

목차

국문초록

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 소자의 제작

Ⅲ. 소자의 측정

Ⅳ. 측정결과 및 고찰

Ⅴ. 결론

감사의 글

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Abstract

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