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이 논문의 연구 히스토리 (4)
1993
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Ta을 미량 첨가한 Co-Cr-Ta 박막의 높은 수직보자력의 원인을 알아보기위하여 회전우력자력계 (torque magnetometer)와 진동시료형 자력계(VSM)를 이용하여 Co-Cr 박막과 Co-Cr-Ta 박막의 수직자기이방성에너지를 조사하였다. CO_(81.7)Cr_(16.7),Ta_(1.6) 박막의 수직이방성에너지는 동일 기판온도에서 성막한, 비슷한 용질원자량의 CO_(81)Cr_(19) 박막보다 높았다. 그 원인을 분석하기 위하여 as-sputtered 상태의 박약들을 annealing 처리한 후 수직자기이방성에너지의 변화를 조사하였다. annealing 처리에 의해 수직자기이방성에너지는 감소하였다. 이러한 annealing 처리에 의한 수칙자기이방성에너지의 감소량은 CoCrTa 박막의 경우 더 컸으며, annealing 처리후의 수직자기이방성에너지는 이원계 및 삼원계 박막에서 비슷한 값을 보였다.
이는 Ta 첨가에 의해 as-sputtered 박막내 용질원자의 편석(segregation) 정도가 증가하며, 이러한 편석의 증가로 박막내에 형태자기이방성의 기여가 증가하여 수직자기이방성에너지의 증가가 있었던 것으로 해석된다. 또한 이러한 용질원자의 편석의 증가에 의한 수직자기이방성에너지지의 증가로 박막의 보자력도 증가한 것으로 생각된다.
이는 Ta 첨가에 의해 as-sputtered 박막내 용질원자의 편석(segregation) 정도가 증가하며, 이러한 편석의 증가로 박막내에 형태자기이방성의 기여가 증가하여 수직자기이방성에너지의 증가가 있었던 것으로 해석된다. 또한 이러한 용질원자의 편석의 증가에 의한 수직자기이방성에너지지의 증가로 박막의 보자력도 증가한 것으로 생각된다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract
참고문헌 (0)
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