광자기 디스크의 기록특성에 SiN 하지층이 미치는 영향

최건

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최건

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회지 한국자기학회지 제2권 제1호

발행연도: 1992.2

수록면: 56 - 60 (5page)

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광자기 디스크의 자기 및 기록특성에 SiN 하지층이 미치는 영향에 대해서 연구하였다. PC 기판에 4층구조막의 디스크를 DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 성막하였으며 스퍼터링 압력이 증가함에 따라 SiN 박막의 표면이 거칠어 지고 주상형성장이 현저하게 나타났다. SiN 하지층의 미세조직의 변화는 자기기록막의 보자력, 수직이방성 등에는 영향을 미치지 않았지만 자구의 형성과정은 SiN 하지층의 조직에 따라 민감하게 변화하였다. SiN 하지층이 porous 할수록 광자기 디스크의 기록이 이루어 지는 임계파우워 값이 작고, 또한 자구의 형성이 이루어 지는 임계외자계의 크기도 넓은 범위에서 나타났다. 광자기 디스크의 기록특성을 증대시키기 위해서는 자기기록막의 성능과는 관계없이 치밀하고 표면이 평할한 SiN 하지층을 증착하는 것이 필수적임을 관찰하였다.

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