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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.11[Special Edition]
- 발행연도
- 2005.11
- 수록면
- 2,172 - 2,178 (7page)
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We describe a cantilever device for a novel ‘Time-Of-Flight Scanning Force Microscope(TOF-SFM)’ concept that has the capability of chemical analysis. The cantilever device consists of a switchable cantilever (SC), a microfabricated extraction electrode, and a LEGO-type microstage, which combines two different systems. It allows quasi-simultaneous topographical and chemical imaging of a sample surface to be performed in the same way as with conventional scanning probe techniques. This is achieved by the micromachined SC with a bimorph actuator that provides a reasonable switching speed in comparison with mechanically operated switches. Secondly, a short tip-electrode distance to minimize the ions extraction voltage can be realized by LEGO-type microfabrication. The measured SC tip deflection is ~100 ㎛ at 35 ㎽, corresponding to an estimated heater temperature of ~250℃. The maximum switching speed between the two modes is ~10 msec, and the sensitivity ΔR/R of an integrated piezoresistive deflection sensor is ~6.7 × 10^(-7)/㎚. The tip-electrode distance is only 10 ㎛. The TOF-SFM is currently integrated in an ultra-high-vacuum system to perform several measurements.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Cantilever Device Design
3. Experimental Results
4. Conclusions
References
참고문헌 (29)
참고문헌 신청
Akamine, S. and Quate, C. F., 1992, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 2307.
Binnig, G., Quate, C. F. and Gerber, C., 1986, Phys. Rev. Lett. 56, 930.
Binnig, G., Rohrer, H., Gerber, C. and Weibel, E., 1983, Phys. Rev. Lett. 50, 120.
Blavette, D., Deconihout, D., Bostel, A., Sarrau, J. M., Bouet, M. and Menand, A., 1993, Rev. Sci. Instrum. 64, 2911.
Chambers, R. S. and Ehrlich, G., 1976, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 273.
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