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홀로그래픽 필름으로 제작된 그레이스케일 마스크를 통하여 두꺼운 포토레지스트를 자외선으로 근접 노광하여 주기 300 ㎛, 두께 17 ㎛, 초점거리 2.2 ㎜인 10×10 미소렌즈 배열을 제작하였다. 그레이스케일 마스크는 컴퓨터로 설계한 미소렌즈 배열을 필름 출력기를 이용하여 고해상도 흑백 필름에 그레이스케일로 기록 및 현상하고 이를 다시 홀로그래픽 필름에 축소복사(6.6배)하여 제작하였다. 본 제작방법은 저렴한 비용으로 100%에 가까운 fill-factor를 얻을 수 있고, 비구면 렌즈를 구현하기가 쉽다는 장점을 가진다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 그레이스케일 마스크의 설계
Ⅲ. 그레이스케일 마스크의 제작
Ⅳ. 미소렌즈배열 제작 및 결과
Ⅴ. 결론
감사의 글
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