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동시증착법을 이용하여 ZnS와 SiO₂를 증착시켜 혼합 박막을 제작하고, 제작된 ZnS-SiO₂ 혼합 박막의 광학적 특성과 결정구조를 분석하였다. 혼합 박막의 Zn : Si의 원소조성비에 따른 광학적 특성은 Drude 모델을 잘 만족함을 알 수 있었다. 이러한 혼합 박막의 굴절률 특성을 이용하여 단층의 무반사코팅을 설계ㆍ제작하였다. 한편, 이온 보조 증착하지 않은 혼합 박막은 비정질 구조를 보였으며, 이온 보조 증착한 혼합 박막은 Zn의 함유량이 43.0%, 56.6%일 때 결정질 구조를 보였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 혼합 박막의 제작
Ⅲ. 박막 분석
Ⅳ. 결과 및 논의
Ⅴ. 결론
참고문헌
Abstract
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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v9n2p70