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이 논문의 연구 히스토리 (4)
1997
용액 불안정이 InGaAsP / InP 액상결정성장에 미치는 영향
오수환
,
안세경
,
홍창희
한국광학회지
1997.10
학술저널
액상결정성장에서 용액 불안정이 다중양자우물층 성장에 미치는 영향 ( The Effect of Melt Instability on the Multi-Quantum Well Growth in Liquid Phase Epitaxy )
오수환
,
안세경
,
박윤호
외 1명
대한전자공학회 학술대회
1997.01
학술대회자료
액상결정성장에서 용액불안전성의 영향 ( The Effect of Melt Instability on the Liquid Phase Epitaxy )
오수환
,
안세경
,
홍창희
대한전자공학회 학술대회
1997.01
학술대회자료
액상결정성장에서 용액 불안정이 다중양자우물층 성장에 미치는 영향 ( The Effect of Melt Instability on the Multi-Quantum Well growth in Liquid Phase Epitaxy )
오수환
,
안세경
,
박윤호
외 1명
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1997.01
학술대회자료
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본 연구에서는 InGaAsP/InP 액상결정성장에 있어서 성장용액의 불안정성이 성장에 미치는 영향을 조사하여 보았다. 성장용액의 불안정을 완화시킬 수 있는 구조의 흑연보트를 제작하여 성장을 행하여 본 결과 각층의 균일도를 향상시킬 뿐만 아니라 성장층간의 두께 편차를 동시에 줄일수 있었으며, 성장두께와 두께편차를 각각 1/2, 1/3 이상 줄일 수 있었고, 최소성장두께 80Å 이하의 결과를 얻었다. 그리고 성장용액의 안정도 측면에서 2상용액법에 사용되는 InP seed에 의한 영향을 조사한 결과, 단결정 InP 2상용액법의 경우가 다결정 InP에 비해 우수한 성장특성을 가짐을 확인할 수 있었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 용액불안정이 MQW층 성장에 미치는 영향
Ⅲ. 2상용액법에서 InP seed의 영향
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract
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