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Ar 이온빔 보조 증착법(IBAD)으로 제작한 TiO₂ 박막의 광학적 특성을 연구하였다. 포락선 방법으로 측정한 단층 IBAD TiO₂ 박막의 굴절률은 이온빔을 사용하지 않은 보통 TiO₂ 박막보다 증가하여 bulk의 값에 보다 가까왔으며, 진공과 공기 중에서 투과 파장 영역의 이동을 측정하여 조사한 단층 IBAD 박막의 조밀도는 보통 박막보다 현격히 증가하였다. 이온빔 보조 증착법으로 (TiO₂/SiO₂) 다층 박막 간섭필터를 제작하였고, 진공과 공기 중에서 각각 간섭 필터의 최고 투과 파장의 이동을 측정하였다. IBAD 간섭 필터의 파장 이동량은 보통 간섭필터에 비해 무시할 수 있을 정도로 작아 IBAD 박막의 조밀도가 증가하고 광학적으로 안정된 것을 알 수 있었다. 또한 IBAD TiO₂ 박막과 보통 TiO₂ 박막 모두 원소 조성비는 정상이었으며 결정 구조는 비정질이었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 장치
Ⅲ. 실험 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract
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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v5n1p9