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수치제어 (Numerical Control) 공작기계와 로보트 등에서의 위치판독장치는 핵심적인 자동화부품이다. 수치제어용 위치판독장치인 광학식 엔코더의 제조기술의 국산화를 위하여 부분 공정을 개발하였다. Micro-lithography 가공기술을 이용하여 유리 기저판 위에 정밀눈금을 가공하였다. 눈금가공 공정은 많은 단계의 과정을 거쳐 이루어 진다. 박막두께, 수지코팅, 건조온도, 노광시간, 부식시간 등 공정변수들의 최적조건을 찾아내고 각 공정변수에 따른 눈금품질과의 관계를 규명하였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 광학식 엔코더의 작동원리
Ⅲ. 유리눈금 제작실험
Ⅳ. 결과 및 토의
참고문헌
Abstract
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