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Soft X-ray는 자연상태의 생물체를 높은 대비(high contrast)의 영상으로 관찰할 수 있는 광원이다. 1GW급의 광분해 옥소레이저(λ=1.315㎛, E=12.7J)를 몰리브덴(Mo) 표적에 접속시켜 플라즈마를 발생시켰으며 플라즈마에서 방출되는 넓은 파장 영역의 연속스펙트럼을 0.1㎛ 두께의 알루미늄 필터를 거치게 하여 soft X-ray 영역에 중시세기를 갖는 광원을 얻었다. X-ray 용 resist로 감도가 좋은 PBS를 사용하여 그물망(mesh), 거미줄, 적혈구의 replica를 얻었다. 분해능에 미치는 두 가지의 주된 영향인 광원의 크기에 의한 영향과 Fresnel 회절효과를 고찰하고 실험결과와 비교하였다. 본 실험에서의 0.1㎛ 이하의 분해능을 얻었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 분해능의 이론적 계산
Ⅲ. 실험장치 및 방법
Ⅳ. 결과 및 분석
Ⅴ. 결론
참고문헌
Abstract
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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v1n1p46