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방전여기 방식의 KrF 엑사이머 레이저의 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램을 개발하여 방전 중의 KrF* 형성, 탈여기 및 흡수반응 등에 대한 완충가스의 영향에 관해 해석하였다. He 가스와 Ne 가스의 경우 KrF* 생성효율은 각각 7.5%, 19%였으며, KrF* 탈여기는 충전전압 30㎸에서 각각 45, 30%의 비율을 차지하였다. 그러나 흡수과정에서는 완충가스의 영향이 10% 이하였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 시뮬레이션 코드 구성
Ⅲ. 시뮬레이션 결과 및 검토
Ⅳ. 결론
참고문헌
Abstract
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UCI(KEPA) : G300-j12256285.v1n1p33