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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 1997.3
- 수록면
- 26 - 35 (10page)
이용수
초록· 키워드
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Rigorous coupled-wave analysis(RCWA) with a simplified eigenvalue problem is used to investigate the antireflective property of one-dimensional surface-relief gratings such as binary gratings, triangular gratings and gratings with triangle-like surface profiles. The convergence of RCWA is investigated by varying the number of layers and the number of space-harmonics used in the computation. For unpolarized light normally incident on a medium of refractive index 1.64 from vacuum, a triangle-like grating shows the reflectivity of 1.6×10-⁴ in contrast to a minimum reflectivity of 3.8×10³ for a binary grating. We also study the dependence of reflectivity on the wavelength, and on the angle of incidence for a groove shape and depth which result in minimum reflectivity.
목차
Abstract
Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. RIGOROUS COUPLED - WAVE ANALYSIS WITH SIMPLIFIED EIGEN - VALUE PROBLEM
Ⅲ. ANTIREFLECTIVE PROPERTIES OF SWS GRATINGS
Ⅳ. SUMMARY
Ⅴ. ACKNOWLEDGMENTS
REFERENCES
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-425-018158765