Atmospheric RF plasma effects on the film adhesion property of polymer metallization process

Yun M. Chung; Min J. Jung; Jeon G. Han

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Yun M. Chung Min J. Jung Jeon G. Han

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제24회 학술발표회초록집

발행연도: 2003.2

수록면: 67 - 67 (1page)

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Yun M. Chung

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