Si - SiO₂ 경계에 분포하는 Border Trap에 의한 MOS 소자 동작 특성 변화 분석

안병철; 노관종; 노용한

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 안병철 노관종 노용한

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 65 - 65 (1page)

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안병철

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노관종

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 8 이용수 281

노용한

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-554-018030108

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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