Ion Beam assisted Evaporation 공정을 이용한 GaN 박막 합성시 질소종 및 에너지가 박막 물성에 미치는 영향

심희성; 김기성; 전찬욱; 김선효

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 심희성 김기성 전찬욱 김선효

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제15회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1998.7

수록면: 69 - 70 (2page)

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