RuO₂ 박막의 제조와 물성

서동주 ,  이재연 ,  김건호

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

Particle Coating by Atomic Layer Deposition of Ru and RuO₂

윤재홍 ,  이영학 ,  이재광 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

스퍼터링 방법으로 증착한 RuO₂ 박막의 구조 및 전기적 특성

조굉래 ,  임원택 ,  이창효

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

XPS study of RuO₂ films deposited by reactive sputtering

김태형 ,  이종완 ,  김동천 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

RuO₂ 나노 입자의 수열 합성 및 전기적 특성 관찰

이유민 ,  정택모 ,  안기석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석

도승우 ,  장철영 ,  이용현

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Ta adhesion layer를 이용한 RuO₂ nanowires 슈퍼커패시터 전극 제작 및 전기화학적 특성 연구

Jongmin Kim ,  Sangeun Cho ,  Yongcheol Jo 외 10명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Preparation of High Quality RuO₂ Electrodes for High Dielectric Thin Films by Low Pressure Metal Organic Chemical Vapor Deposition

J. M. Lee ,  H. J. Kim ,  C. S. Hwang 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

RuO₂ 박막의 성장과 어닐링 조건에 따른 특성

조굉래 ,  임원택 ,  이창효

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

Electrical and structural investigation of Nd-doped TiO₂ thin films grown on RuO₂ substrate by Atomic Layer Deposition

H. Kwon ,  W. T. Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

(NH₄)Sx 처리에 따른 RuO₂ / n - GaAs 접촉장벽의 열적안정성

손맹호 ,  김은규 ,  박용주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Anomalous magneto-resistance ratio of CrO₂/RuO₂ granular bulk system

Y. Kimishima ,  M. Matsuo ,  M. Ueha 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Formation and stability of a ruthenium - oxide thin film made of the O₂/ Ar gas - mixture sputtering

Moonsup Han ,  Min-Che ,  l Jung 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2001 .12

CO oxidation catalyzed by RuO₂ nanostructure supported on mesoporous Al₂O₃ deposited by atomic layer deposition

Il Hee KIM ,  Sang Wook HAN ,  Eun Ji PARK 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Nonlinear etching process of hydrogen-terminated Si(110)-(1×1) surfaces

E ,  ina KAWAMOTO ,  Stephane Yu MATSUSHITA 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Crystal orientation and morphology of Ag nanoclusters grown on the hydrogen-terminated Si(111)-(1×1) surface

Jungmin KANG ,  E ,  ina KAWAMOTO 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

A First-principles Study on the Electronic Structures and Magnetism of Antiperovskite MnCo₃N (001) surfaces

Kalpana K. Landge ,  Beata Bialek ,  Jae Il Lee

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2012 .05

MEICP(magnetically enhanced inductively coupled plasma)에 의한 RuO₂ 및 Ru 박막의 건식 식각 특성

장제욱 ,  이영준 ,  한근조 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

MOCVD growth of RuO₂thin films on Si(001) substrates using(η6 - benzene) (η⁴- 1,3 - cyclohexadiene)Ru

H. N. Hwang ,  K. C. Han ,  K. S. An 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .02

Interaction between RuO2 and Carbon Nanotubes : Photoemission and X-ray Absorption Study

Seung Youb Lee ,  Yoo Seok Kim ,  Chelho Jeon 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02