Characterization of ERD - TOF system and its application of thin film analysis

김준곤; 김영석; 최한우; 김기동; 황정남

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저자정보: 김준곤 김영석 최한우 김기동 황정남

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1997.2

수록면: 63 - 64 (2page)

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