Pt / MgO(100) 기판상에 In - situ성장된 (Pb, La)TiO₃ 박막의 전기적 특성

이상열; 김민영; 장호정; 장지근

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저자정보: 이상열 김민영 장호정 장지근

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제11회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1996.6

수록면: 180 - 181 (2page)

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적외선 센서의 재료로 활용되고 있는 PLT박막(두께 : 8000~9000Å)을 Pt/MgO(100)의 하부 구조상에 500℃, 550℃ 및 600℃에서 스퍼터링 증착하여 결정성 및 전기적 특성을 조사하였다. 600℃로 in-situ 성장된 PLT 박막은 c-측(00l) 방향으로 배향 성 ... 전체 초록 보기

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주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전자공학

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