초고진공 분자선 에피성장 시스템의 제작 및 성능 연구

김은도 ,  손영호 ,  엄기석 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

초고진공 분자선 에피성장(MBE) 시스템의 개발 및 특성

김은도 ,  정명효 ,  김창도 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Ionized Cluster Beam Deposition 방법을 이용한 Polyimide 박막의 제작 및 특성

김기원 ,  최성창 ,  노효상 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Structural property of Cu thin films grown by Ionized cluster beam deposition

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성 개선

박종윤

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성 개선에 관한 연구

김정선 ,  여환욱 ,  이상균 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Investigation of New Ionized Cluster Beam Source

고석근 ,  장홍규 ,  정형진 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

대형 초고진공시스템의 설계 및 제작

이상훈 ,  조혁진 ,  서희준 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

이온 클러스터빔에의한 구리박막제작

Won-Kook Choi ,  Ki-Han Kim ,  Young-Soo Yoon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Ionized Cluster Beam 증착방법을 이용한 Indium - Tin - Oxide(ITO) 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

최성창 ,  황보상우 ,  조만호 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .03

Deposition of Cu thin films on glass substrate by Ionized Cluster Beam deposition for laser mirror at room temperature

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Development of the aluminum extrusion type ultra-high vacuum chamber

홍만수 ,  하태균 ,  권혁채 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

초고진공펌프를 위한 구동장치 개발

오형록 ,  노경태

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Acceleration energy dependence of epitaxial Y₂O₃ film grown by ionized cluster beam deposition

M. H. Cho ,  Y. G. Choi ,  S. W. Whangbo 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

초고진공 분자선 에피성장 시스템의 제작과 에피성장된 ZnSe/GaAs(001)의 광학특성

김은도 ,  손영호 ,  엄기석 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2006 .09

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

이온화클러스터빔 증착법에 의한 구리 박막의 반도체 접촉구 메움 향상에 관한 연구

백민 ,  손기황 ,  김도진

Applied Science and Convergence Technology

1998 .05

Construction and Investigation of Metal Ion Source for Partially Ionized Beam deposition

H. G. Jang ,  W. K. Choi ,  S. G. Kond 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

분자선 적층 증착법으로 성장시킨 ZnO박막의 Schottky 접촉특성에 대한 연구

김길영 ,  박종용 ,  정연식 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02