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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제2회 학술발표회논문개요집
발행연도
1992.2
수록면
17 - 18 (2page)

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SIMS는 뛰어난 원소검출감도와 깊이분해능을 가지고 있어서 깊이에 따른 미량불순물 분석에 필수적인 장비이지만, 시료와 불순물의 변화에 따라 이온화율과 깎이는 속도가 달라서 일어나는 matrix effect때문에 표준시료없이 정량분석을 할수없는 문제점이 있다.
이런 SIMS의 단점을 보완하기 위한 방법으로 개발된 여러가지, SNMS기술중 SIMS에 아무런 기계장치를 덧붙이지않고도 정량화개선효과를 가져오는 CsX+ SNMS에 대한 연구를 진행하여, 지금까지 밝혀진 실 ... 전체 초록 보기

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