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본 연구에서는 컴퓨터 시각 기법을 이용하여 반도체 IC의 결함을 검사하는 TAB-IC 자동검사 장치를 개발 하였다. 아직까지 TAB-IC의 검사는 그 중요도에 비해 제조현장과정에서 수동으로 결함을 판정하고 있는 실정이다. TAB-IC를 주요 부위별로 4개의 단계로 분류하고, 각 단계마다 적절한 조명과 카메라를 설치하여 인식을 수행하였으며, 인식에는 thresholding된 이미지를 이용하여, 이치화(binarization)정보를 사용하거나, 256계조도의 이미지를 각 검사부위별로 적합한 알고리즘을 이용하여 검사하였다. 알고리즘에는 직선성 검사, 경계선 ... 전체 초록 보기

목차

요약

1. 서론

2. 인식과정의 알고리즘

3. 결점의 종류 및 검사과정

4. 실험 및 결과

5. 결론

참고 문헌

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