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논문 기본 정보

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저널정보
대한기계학회 Journal of Mechanical Science and Technology Journal of Mechanical Science and Technology Vol.19 No.8
발행연도
2005.8
수록면
1,576 - 1,581 (6page)

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Generally, the optical components are fabricated by grinding, lapping, and polishing. And, those processes take long time to obtain such a high surface quality. Therefore, in the case of large optical component, the on-machine inspection (OMI) is essential. Because, the work piece is fragile and difficult to set up for fabricating and measuring. This paper is concerned about a swing-arm method for measuring surface profile of large optical concave mirror. The measuring accuracy and uncertainty for suggested method are studied. The experimental results show that this method is useful specially in lapping process with the accuracy of 3-5㎛. Those inspection data are provided for correcting the residual figuring error in lapping or polishing processes.

목차

Abstract

Nomenclature

1. Introduction

2. Design of Swing-arm On-machine Measuring System

3. Geometric Error Analysis of Swing-Arm Measuring System

4. Swing-Arm Experiment and Verification

5. Conclusions

References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Ando, M., Negishi, M., Takimoto, M., Deguchi, A. and Nakamura, N., 1995, "Super-smooth Polishing on Aspherical Surface," Nanotechnology 6, pp.111~120. google schola Burge, 1. H., 1996, "Measurement of Large Convex Aspheres," Proc. of SPJE on Optical Telescopes of Today and Tommorrow, Vol.2871. google schola Daniel Malacara-Hernandez and Daniel Malacara-Doblado, 1999, "Testing of Aspheric Wavefronts," Fabrication and Testing of Aspheres, Optical Society of America, pp.74~85. google schola David Walker, Ho-Soon Yang and Sug-Whan Kim, 2003, "Novel Hybrid Stylus for Nanometric Profilometry for Large Optical Surface," Optics Express, Vol.11, No.15. google schola David Williamson, Robert Kestner and Daniel Bajuk, 1999, "Asphere in Microlithography," Fabrication and Testing of Asphere, Optical Society of America, pp.8~16. google schola

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