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논문 기본 정보
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- 저널정보
- 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE JOUNAL OF SEMICONDUCTOR THCHNOLOGY AND SCIENCE Vol.5 No.1
- 발행연도
- 2005.3
- 수록면
- 11 - 16 (6page)
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This paper presents fabrication process and experimental results of two different types of flexible MEMS biosensors based on polymer/metal multilayer processing techniques. One type of a biosensor is a microelectrode array (MEA) for nerve signal monitoring through implanting the MEA into a living body, and another is a tactile sensor capable of being mounted on an arbitrary-shaped surface. The microelectrode array was fabricated and its electrical characteristics have been examined through in vivo and in vitro experiment. For sensitive skin, flexible tactile sensor array was fabricated and its sensitivity has been analyzed. Mechanical flexibility of these biosensors has been achieved by using a polymer, and it is verified by implanting a MEA to an animal and mounting the tactile sensor on an arbitrary-shaped surface.
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Flexible Biosensors
Ⅲ. Conclusions
Acknowledgments
References
저자소개
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