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논문 기본 정보

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한국대기환경학회 한국대기환경학회지(국문) 한국대기환경학회지 제20권 제6호
발행연도
2004.12
수록면
783 - 792 (10page)

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In this study, a thick-film semiconductor odor gas sensor for the detection of CH₃SH was developed using SnO₂ as the main substrate and was Investigated in terms of Its sensitivity and reaction time In the process of manufacturing the sensor, Tagucht's design of experiment (DOE) was applied to analyze the effects of a variety of parameters, including the substrate, the additives and the fabrication conditions, systematically and effectively Eight trials or experiments could be possible using the 2 7 orthogonal array for the seven factors and two levels or condition, which originally demands 128 trials of experiments without DOE The additives of Sb₂O5 and PdCl₂ With the H₂PtCl6ㆍ6H₂O catalyst were appeared to be Important factors to Improve the sensitivity, and CuO, Sb₂O5 V₂O5 and PdO were less Important In addition, T1O₂, V₂O5 and PdO would Improve the reaction time of a sensor, and CuO, Sb₂O5, PdCl₂ and H₂PtCl6ㆍ6H₂O were negligible Being evaluated simultaneously in terms of both sensitivity and reaction time, the sensor showed the higher performance with the addition of T1O₂ and PdO, but the opposite results with the addition of CuO, V₂O5' Sb₂O5 and PdCl₂ The amount of additives were superior in the case of 1 % than 4% H₂PtC16ㆍ6HㆍO would play an important role for the increase of sensor performance as a catalyst

목차

Abstract

1. 서론

2. 재료 및 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

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