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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2004.11
수록면
186 - 190 (5page)

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LCD inspection system can be classified into Macro, Micro, Macro-Micro composition types Macro type is able to inspect precisely but it is spent on lots of time because of limited part Macro-Micro type is expensive
Recently used LCD inspection system is composed with inlet, inspector, outlet LCD is Inspected on floating air pad which is shooting air by CCD. But it is fluctuated by air pressure, noise so it makes trouble which out of CCD Inspection visual field So we study on pad design of air bearing for LCD inspection to minimize fluctuation

목차

Abstract

1. 서론

2. LCD 검사 장비의 Air pad 성능 평가 시스템

3. 유한 요소 기법을 통한 Air pad 해석

4. Air Pad 성능 실험

4. 결론

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