마이크로 광 시스템 구현을 위한 광학 부품의 위치 정밀도 허용오차 설계

이재영; 황병철; 박헌용; 박세근; 이승걸; 오범환; 이일항; 최두선

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이재영 황병철 박헌용 박세근 이승걸 오범환 이일항 최두선

저널정보: 대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제41권 제7호

발행연도: 2004.7

수록면: 521 - 528 (8page)

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미세 광학 벤치의 설계를 위해서 두 가지 테스트 벤치에 대해 결합효율을 계산하였다. 광섬유로 들어오고 나가게 되는 빛을 볼 렌즈를 통과한 것과 그렇지 않은 것으로 설계하였다. 미세 광학 벤치의 실제 제작 과정에서 발생할 수 있는 광소자들의 위치 에러를 고려하여 시뮬레이션을 하였고, 그것들의 허용오차를 3 dB 조건으로 정하였다. 볼 렌즈가 없는 fiber to fiber에서는 lateral misalignment가 2.7 um, 그리고 tilt 에러가 5.8o 이내로 나타났다. 각각의 광섬유 앞단에 광의 접속을 위해 볼 렌즈가 놓여지면 working distance는 60 um로 확장되어지나, 각각의 광소자들이 놓여진 위치 파라미터 사이에 보다 강한 교호작용이 존재하기 때문에 tolerance design을 위해 교호작용을 함께 고려해야 한다.

참고문헌 (10)

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[학술지(정기간행물)] - M.C. Wu / 1995. / Micromachined free-space integrated micro -optics 50 : 127 ~

[학술지(정기간행물)] - L.Y. Lin / 1994. / Micro-machined three-dimensional micro-optics for integrated free-space optical system 6 : 1445 ~

[학술지(정기간행물)] - E. Bisaillon / 2002. / Free-space optical link with spatial redundancy for misalignment tolerance 14 (2) : 242 ~

[학술지(정기간행물)] - M.H. Choi / 1999. / Self-aligning silicon groove technology platform for the low cost optical module : 1140 ~

[학술지(정기간행물)] - R. Cann / 1997. / Use of silicon vee groove technology in the design and volume manufacture of optical devices 3004 : 170 ~

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